Low- temperature PZT thin-film ferroelectric memories fabricated on SiO2/Si and glass substrates

Title: Low- temperature PZT thin-film ferroelectric memories fabricated on SiO2/Si and glass substrates
Authors: D.H. Minh
N.V. Lo
N.H. Duc
B.N.Q. Trinh
Keywords: PZT;Thin-film transistor;Ferroelectric;Sol-gel;ITO
Issue Date: 2016
Publisher: ĐHQGHN
Abstract: In a ferroelectric-gate thin film transistor memory (FGT) type structure, the gate-insulator layer is extremely important for inducing the charge when accumulating or depleting. We concentrated on the application of low-temperature PZTfilms crystallized at 450, 500 and 550 C, instead of at conventional high temperatures ( 600 C). Investigation of the crystalline structure and electrical properties indicated that the PZTfilm, crystallized at 500 C, was suitable for FGT fabrication because of a high (111) orien-tation, large remnant polarization of 38 aC/cm 2 on SiO2/Si substrate and 17.8 aC/cm 2 on glass, and low leakage current of 10- 6A/cm 2 . In sequence, we successfully fabricated FGT with all processes below 500 C on a glass substrate, whose operation exhibits a memory window of 4 V, ON/OFF current ratio of 10 5 , field-effect mobility of 0.092 cm 2 V- 1 s- 1 , and retention time of 1 h
Description: p. 75-79
URI: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/58325
ISSN: 2468-2284
Appears in Collections:Advanced Materials and Devices

Nhận xét

Đăng nhận xét

Bài đăng phổ biến từ blog này

Áp dụng phương pháp 5S vào hoạt động lưu trữ tại các cơ quan của UBND huyện Thường Tín : Luận văn ThS. Kinh doanh: 60 34 01

Hệ thống hóa cơ sở lý luận về 5S; Đánh giá thực trạng hoạt động lưu trữ hiện nay tại các cơ quan, đơn vị của UBND huyện Thường Tín theo các thành tố của phương pháp 5S; Phân tích các nguyên nhân/rào cản khiến 5S chưa được áp dụng vào hoạt động lưu trữ tại UBND huyện Thường Tín. Đồng thời, đề xuất mô hình, quy trình và một số giải pháp nhằm khắc phục những rào cản khi áp dụng cũng như cải tiến và nâng cao hiệu quả của việc áp dụng 5S vào hoạt động lưu trữ tại các cơ quan của UBND huyện Thường Tín. Title:  Áp dụng phương pháp 5S vào hoạt động lưu trữ tại các cơ quan của UBND huyện Thường Tín : Luận văn ThS. Kinh doanh: 60 34 01 Authors:  Dương, Thị Quỳnh Châu Keywords:  Quản trị kinh doanh,Lưu trữ,Quản lý Issue Date:  2017 Publisher:  H. : Trường Đại học Kinh Tế Abstract:  Hệ thống hóa cơ sở lý luận về 5S; Đánh giá thực trạng hoạt động lưu trữ hiện nay tại các cơ quan, đơn vị của UBND huyện Thường Tín theo các thành tố của phương pháp 5S; Ph...
Đọc thêm

Mechanism of TCO thin film removal process using near-infrared ns pulse laser Plasma shielding effect on irradiation direction

Title:  Mechanism of TCO thin film removal process using near-infrared ns pulse laser Plasma shielding effect on irradiation direction Authors:  Kim, B. Iida, R. Doan, H.D. Fushinobu, K. Keywords:  Laser ablation;Nanosecond laser scribing;Plasma shielding;Transparent conductive oxide thin film Issue Date:  2016 Publisher:  Elsevier Ltd Citation:  Scopus Abstract:  Substrate side irradiation is widely used for a thin film removal process because high absorption at the film/substrate or film/film interface leads to complete isolation of thin film by single shot irradiation of laser pulse with low energy. However, in the transparent thin film removal process, large thermal expansion or local phase change at the interface cannot be created by substrate side irradiation because of its large optical penetration depth compared to its small thickness. Nevertheless, substrate side irradiation works obviously for single shot film isolation proces...
Đọc thêm

Pháp luật quyền của người cao tuổi ở Việt Nam hiện nay. : Luận văn ThS. Pháp luật về quyền con người (chuyên ngành đào tạo thí điểm)

Title:  Pháp luật quyền của người cao tuổi ở Việt Nam hiện nay. : Luận văn ThS. Pháp luật về quyền con người (chuyên ngành đào tạo thí điểm) Authors:  Nguyễn, Thanh Hà Keywords:  Quyền cá nhân;Luật và pháp chế Issue Date:  2017 Publisher:  H.: Khoa Luật Abstract:  Luận văn làm rõ các vấn đề lý luận, quy định pháp luật về quyền của người cao tuổi theo luật nhân quyền quốc tế và pháp luật Việt Nam. Trên cơ sở đó đề xuất các giải pháp để hoàn thiện hệ thống pháp luật nhằm bảo đảm tốt hơn quyền của người cao tuổi. Description:  83 tr. URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/60997 Appears in Collections: LAW - Master Theses
Đọc thêm