Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc: Luận văn ThS. Kỹ thuật điện, điện tử và viễn thông: 605202

Title:	Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc: Luận văn ThS. Kỹ thuật điện, điện tử và viễn thông: 605202
Authors:	Nguyễn, Thị Kim Ngân
Keywords:	Kỹ thuật điện tử;Cảm biến vi hạt
Issue Date:	2017
Publisher:	H.: Trường Đại học Công Nghệ
Abstract:	Luận văn này thực hiện việc nghiên cứu, thiết kế và chế tạo thử nghiệm cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc. Quy trình chế tạo cảm biến vi hạt cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng được nghiên cứu xây dựng dựa trên công nghệ vi chế tạo. Hệ thống đo đạc thử nghiệm hệ thống kênh dẫn vi lỏng tích hợp cảm biến điện dung cũng đã được xây dựng phục vụ cho việc khảo sát thực nghiệm. Hệ thống được mô phỏng hoạt động sử dụng phương pháp phân tích các phần tử hữu hạn (FEM) dùng COMSOL Multiphysics và nguyên mẫu đã được chế tạo thử nghiệm với những kết quả ban đầu hứa hẹn khả năng ứng dụng hệ thống trong các ứng dụng thực tế trong lĩnh vực y sinh học.
Description:	47 tr.
URI:	http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/61220
Appears in Collections:	UET - Master Theses